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AMSL公布最先进光刻机的最新进程 生产率已提高18%

10月14日,荷兰ASML(阿斯麦)发布了光刻机产品的最新进展。

其间TWINSCAN NXE:3600D作为其现在研制中的最先进光刻机体系,总算敲定终究标准。

具体来说,30mJ/cm2的曝光速度到达每小时曝光160片晶圆,进步了18%的生产率,并改善机器匹配套准精度至1.1nm。

AMSL发布最先进光刻机的最新进程,生产率已进步18%

3600D定于2021年中旬出货交给,客户还需要必定时刻等候,价格应该不会低于现款老类型的1.2亿美元。

现在,ASML现已投产的最先进光刻机是3400C,但主力出货类型是3400B。参数方面,3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2,每小时可曝光125片晶圆。

别的,ASML泄漏,3400B在三季度也完成了软件晋级。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i现已在三季度完毕验证,四季度前期开端正式出货。

据悉,在截止9月30日的单季度,ASML共取得60台光刻机收入,出货了10台EUV光刻机。
责编AJX

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